Экспериментальная база Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия или, в более общем виде, электронная спектроскопия для химического анализа (ЭСХА) – позволяет получить данные по элементному и химическому составу поверхностного слоя толщиной в несколько десятков атомных монослоев. Суть методики заключается в регистрации и анализе спектра вторичных электронов (фотоэлектронов и Оже-электронов), возбуждаемых пучком рентгеновского излучения. Высокое разрешение по энергиям регистрируемых электронов позволяет определять даже незначительные сдвиги пиков, связанные с изменением химического состояния атомов, что в комбинации с послойным анализом с использованием ионного травления, позволяет исследовать тонкие поверхностные слои.
РФЭС является универсальным инструментом при исследования тонких поверхностных слоев – тонких пленок, коррозии и т.п.

Используемое оборудование: сканирующий рентгеновский фотоэлектронный микрозонд PHI Quantera SXM (производство Physical Electronics, Inc., США-Япония)
 
Некоторые особенности данного оборудования:
  • Использование сканирующего микрофокусного источника электронов позволяет получать мощный сканирующий пучок рентгеновского излучения размером не более 10 мкм. В сочетании с полусферическим анализатором, многоканальным детектором и системой точного позиционирования образца это дает возможность не только получать спектры исследуемой поверхности с высокой чувствительностью и разрешением, но и получать спектры микрообластей, а также строить химические изображения поверхности.
  • Наличие ионной пушки позволяет проводить глубинное профилирование тонких поверхностных слоев. Энергия пучка ионов – от 5 до 5000 кВ, скорость травления – от 1 до 1000 ?/мин.
  • Двойная нейтрализация зарядки (одновременно пучком электронов и ионов с низкой энергией) дает возможность эффективно работать с изолирующими материалами.

 

Яндекс.Метрика

Created by Lexx